[发明专利]焊盘结构和集成电路晶粒在审

专利信息
申请号: 201810201455.8 申请日: 2018-03-12
公开(公告)号: CN108573945A 公开(公告)日: 2018-09-25
发明(设计)人: 陈俊良 申请(专利权)人: 联发科技股份有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 李庆波
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种焊盘结构,形成在集成电路晶粒上,包括:第一导电层,形成在集成电路晶粒的上表面上并具有中空部分;介电层,覆盖所述第一导电层;第二导电层,形成在所述介电层上并电连接到所述第一导电层;以及钝化层,覆盖所述第二导电层,并具有暴露所述第二导电层以接收接合引线的开口。由于第一导电层具有中空部分,并且在第一导电层上方的第二导电层接收接合引线,第一导电层的机械应力可以得到释放。并且当接合引线接合到第二导电层上时,第一导电层不容易发生例如破裂等损坏,从而降低了焊盘结构在引线接合期间损坏的可能。
搜索关键词: 第一导电层 第二导电层 集成电路晶粒 焊盘结构 接合引线 介电层 中空 机械应力 引线接合 接合 电连接 钝化层 上表面 覆盖 开口 破裂 释放 暴露
【主权项】:
1.一种焊盘结构,形成在集成电路晶粒上,其特征在于,包括:第一导电层,形成在所述集成电路晶粒的上表面上并具有中空部分;介电层,覆盖所述第一导电层;第二导电层,形成在所述介电层上并电连接到所述第一导电层;以及钝化层,覆盖所述第二导电层,并具有暴露所述第二导电层以接收接合引线的开口。
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