[发明专利]OLED阳极及其制造方法、OLED基板的制造方法有效
| 申请号： | 201810077201.X | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108305959B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 喻蕾;李松杉 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种OLED阳极及其制造方法、OLED基板的制造方法。所述OLED阳极的制造方法包括：形成第一导电图案；采用物理气象沉积PVD工艺在第一导电图案上形成反射层，所述PVD工艺的压强为0.8～1Pa、功率为2～4kw、惰性气体的流量为100～150sccm；在反射层上形成第二导电图案。基于此，本发明能够降低反射层中晶粒大小的均一性，提高反射层对可见光的反射率，改善OLED面板的发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | oled 阳极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种OLED阳极的制造方法，其特征在于，所述方法包括：形成第一导电图案；采用物理气象沉积PVD工艺在第一导电图案上形成反射层，其中所述PVD工艺的压强为0.8～1Pa(帕斯卡)、功率为2～4kw(千瓦)、惰性气体的流量为100～150sccm(每分钟标准毫升)；在所述反射层上形成第二导电图案。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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