[发明专利]有源材质层及其制造方法、显示面板有效
| 申请号： | 201810031419.1 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108257978B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 曹英;李小龙;辛燕霞;李雪萍;张锴;周才龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种有源材质层及其制造方法、显示面板，属于显示技术领域。所述有源材质层的制造方法包括：在基板上采用预设方式沉积非晶硅层，预设方式包括：等离子体增强化学气相沉积PECVD方式；在非晶硅层上采用原子层沉积方式沉积类单晶硅层，以得到包括非晶硅层和类单晶硅层的有源材质层。本申请解决了使用PECVD方式沉积的非晶硅内部含有较多硅的未饱和悬挂键或者存在位错空位，有源材质层的均匀性，有源层的性能较差的问题。本申请用于有源材质层的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 有源 材质 及其 制造 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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