[发明专利]用于产生包括其中溶解有氨气的去离子水的导电液体的系统和方法有效
申请号: | 201780082978.9 | 申请日: | 2017-11-09 |
公开(公告)号: | CN110168713B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | U.A.布拉默;J.塞维尔特;C.勒蒂克 | 申请(专利权)人: | MKS仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张凌苗;闫小龙 |
地址: | 美国麻*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了用于将氨气溶解在去离子水中的系统和方法。该系统包括去离子水源和气体混合设备,该气体混合设备包括用于接收氨气的第一入口、用于接收输送气体的第二入口以及用于输出包括氨气和输送气体的气体混合物的混合气体出口。该系统包括接触器,该接触器接收去离子水和气体混合物并产生其中溶解有氨气的去离子水。该系统包括与接触器的至少一个入口流体连通的用于测量去离子水的流速的传感器,以及与传感器通信的控制器。控制器基于由传感器测量的去离子水的流速和预定的电导率设定点来设定氨气的流速。 | ||
搜索关键词: | 用于 产生 包括 其中 溶解 氨气 离子水 导电 液体 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于将氨气溶解在DI水中的系统,所述系统包括:去离子水源;气体混合设备,其包括:第一入口,其与第一气体源流体连通,用于供应氨气;第二入口,其与第二气体源流体连通,用于供应输送气体;以及混合气体出口,用于输出包括氨气和输送气体的气体混合物;接触器,其经由接触器的至少一个入口与去离子水源和混合气体出口流体连通,接触器产生其中溶解有氨气的去离子水;传感器,其与接触器的至少一个入口流体连通,用于测量去离子水的流速;以及控制器,其与传感器通信,控制器被配置成基于以下各项来设定从第一气体源供应的氨气的流速:i)由传感器测量的去离子水的流速,以及ii)预定的电导率设定点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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