[发明专利]用于产生包括其中溶解有氨气的去离子水的导电液体的系统和方法有效

专利信息
申请号: 201780082978.9 申请日: 2017-11-09
公开(公告)号: CN110168713B 公开(公告)日: 2023-08-08
发明(设计)人: U.A.布拉默;J.塞维尔特;C.勒蒂克 申请(专利权)人: MKS仪器有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张凌苗;闫小龙
地址: 美国麻*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 描述了用于将氨气溶解在去离子水中的系统和方法。该系统包括去离子水源和气体混合设备,该气体混合设备包括用于接收氨气的第一入口、用于接收输送气体的第二入口以及用于输出包括氨气和输送气体的气体混合物的混合气体出口。该系统包括接触器,该接触器接收去离子水和气体混合物并产生其中溶解有氨气的去离子水。该系统包括与接触器的至少一个入口流体连通的用于测量去离子水的流速的传感器,以及与传感器通信的控制器。控制器基于由传感器测量的去离子水的流速和预定的电导率设定点来设定氨气的流速。
搜索关键词: 用于 产生 包括 其中 溶解 氨气 离子水 导电 液体 系统 方法
【主权项】:
1.一种用于将氨气溶解在DI水中的系统,所述系统包括:去离子水源;气体混合设备,其包括:第一入口,其与第一气体源流体连通,用于供应氨气;第二入口,其与第二气体源流体连通,用于供应输送气体;以及混合气体出口,用于输出包括氨气和输送气体的气体混合物;接触器,其经由接触器的至少一个入口与去离子水源和混合气体出口流体连通,接触器产生其中溶解有氨气的去离子水;传感器,其与接触器的至少一个入口流体连通,用于测量去离子水的流速;以及控制器,其与传感器通信,控制器被配置成基于以下各项来设定从第一气体源供应的氨气的流速:i)由传感器测量的去离子水的流速,以及ii)预定的电导率设定点。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器有限公司,未经MKS仪器有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201780082978.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top