[发明专利]用于集成功率芯片以及形成散热器的汇流条的方法有效

专利信息
申请号: 201780078921.1 申请日: 2017-12-06
公开(公告)号: CN110268520B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 弗里德瓦尔德·基尔 申请(专利权)人: 维迪科研究所
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L23/473;H01L25/11
代理公司: 北京旭路知识产权代理有限公司 11567 代理人: 瞿卫军;王莹
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种方法,其包括:1)制造基板(EB1),该基板集成至少一个电子芯片(MT、MD),该芯片介于层压绝缘内层和/或层压导电内层之间;2)通过树脂预浸料的介电部分(PP1、PP2、PP3)将金属汇流条段(BB1、BB2、BB3)机械紧固到基板的相对的上表面和下表面上的预定的间隔开的位置;并且3)对于相对的上表面和下表面中的每一个,通过电解沉积金属层(ME)使紧固在所讨论的面上的汇流条段和电子芯片的电极互连,因此,形成包括汇流条(BBH、BBL)的电力电子电路,该汇流条形成散热器。
搜索关键词: 用于 集成 功率 芯片 以及 形成 散热器 汇流 方法
【主权项】:
1.一种方法,用于集成电子功率芯片和形成散热器的汇流条,以实现电力电子电路,其特征在于,所述方法包括:‑制造集成至少一个电子芯片(MT、MD)的基板(EB1),所述电子芯片介于绝缘层压内层和/或导电层压内层之间;‑通过树脂预浸料的介电部分(PP1、PP2、PP3),将金属汇流条段(BB1、BB2、BB3)机械地紧固到所述基板(EB1)的相对的上表面和下表面上的预定的间隔开的位置;并且‑对于所述相对的上表面和下表面中的每一个,通过金属层(ME)电沉积使紧固到所讨论的表面的所述金属汇流条段(BB1、BB2、BB3)和所述电子芯片(MT、MD)的电极互连,因此形成包括汇流条(BBH、BBL)的所述电力电子电路,所述汇流条形成散热器。
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