[发明专利]配备具有两个凸轮轮廓的闩锁机构的衬底容器在审
| 申请号: | 201780073428.0 | 申请日: | 2017-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN109997217A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
| 发明(设计)人: | M·史密斯;C·斯缇克浩斯尔 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 顾晨昕 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 一种衬底容器的门包含用于操作至少两个闩锁部件的闩锁机构。所述衬底容器可为前开式衬底容器或底开式衬底容器。所述闩锁机构可包含可旋转凸轮,所述可旋转凸轮具有与第二旋转轮廓异相的第一旋转轮廓使得当旋转所述凸轮以操作所述闩锁机构使其从脱离位置到接合位置时,第一闩锁部件在第二闩锁部件接合提供在门框中的第二对应开口之前接合所述门框中的第一对应狭槽,使得以交错方式操作所述闩锁部件。这种交错闩锁配置允许按照闩锁臂或闩锁臂组以最有效方式施加由要使用的系统提供的负载。 | ||
| 搜索关键词: | 衬底容器 闩锁部件 闩锁机构 旋转轮廓 接合 可旋转 闩锁臂 门框 交错方式 接合位置 凸轮轮廓 脱离位置 系统提供 有效方式 底开式 前开式 狭槽 异相 闩锁 交错 开口 施加 配备 配置 | ||
【主权项】:
1.一种衬底容器,其包括:容器主体,其界定门框,所述门框具有多个开口;门,其周边经接纳在所述门框中;及闩锁机构,其经安置在所述门内,所述闩锁机构可在脱离位置与接合位置之间操作,所述闩锁机构包括可旋转凸轮,其具有与第二旋转轮廓异相的第一旋转轮廓,第一闩锁臂,其经联接到所述可旋转凸轮,所述第一闩锁臂包含第一闩锁部件,所述第一闩锁部件经配置以在所述闩锁机构处于所述接合位置时接纳在所述门框中的第一对应开口中,第二闩锁臂,其经联接到所述可旋转凸轮且包含第二闩锁部件,所述第二闩锁部件经配置以在所述闩锁机构处于所述接合位置时接纳在所述门框中的第二对应开口中,其中当旋转所述凸轮以操作所述闩锁机构使其从所述脱离位置到所述接合位置时,所述第一闩锁部件在所述第二闩锁部件接合提供在所述门框中的所述第二对应开口之前的时间点接合所述门框中的所述第一对应开口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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