[发明专利]配备具有两个凸轮轮廓的闩锁机构的衬底容器在审
| 申请号: | 201780073428.0 | 申请日: | 2017-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN109997217A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
| 发明(设计)人: | M·史密斯;C·斯缇克浩斯尔 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 顾晨昕 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 衬底容器 闩锁部件 闩锁机构 旋转轮廓 接合 可旋转 闩锁臂 门框 交错方式 接合位置 凸轮轮廓 脱离位置 系统提供 有效方式 底开式 前开式 狭槽 异相 闩锁 交错 开口 施加 配备 配置 | ||
1.一种衬底容器,其包括:
容器主体,其界定门框,所述门框具有多个开口;
门,其周边经接纳在所述门框中;及
闩锁机构,其经安置在所述门内,所述闩锁机构可在脱离位置与接合位置之间操作,所述闩锁机构包括
可旋转凸轮,其具有与第二旋转轮廓异相的第一旋转轮廓,
第一闩锁臂,其经联接到所述可旋转凸轮,所述第一闩锁臂包含第一闩锁部件,所述第一闩锁部件经配置以在所述闩锁机构处于所述接合位置时接纳在所述门框中的第一对应开口中,
第二闩锁臂,其经联接到所述可旋转凸轮且包含第二闩锁部件,所述第二闩锁部件经配置以在所述闩锁机构处于所述接合位置时接纳在所述门框中的第二对应开口中,
其中当旋转所述凸轮以操作所述闩锁机构使其从所述脱离位置到所述接合位置时,所述第一闩锁部件在所述第二闩锁部件接合提供在所述门框中的所述第二对应开口之前的时间点接合所述门框中的所述第一对应开口。
2.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述第一闩锁臂经配置以在大致正交于所述第二闩锁臂的移动方向的方向上移动。
3.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述第一旋转轮廓包括形成在所述凸轮中的第一及第二弯曲狭槽,且所述第二旋转轮廓包括在远离所述凸轮的中心轴的方向上延伸的凸角。
4.根据权利要求3所述的衬底容器,其中所述第二旋转轮廓在正交于所述凸轮的所述中心轴x且平行于界定所述第一旋转轮廓的所述第一及第二弯曲狭槽在其中延伸的平面的平面中延伸。
5.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述第一闩锁臂包含安置在第一及第二端中的每一者处的第一及第二滚轮,其中所述滚轮经配置以沿紧固到所述门的内表面的块滑行。
6.根据权利要求5所述的衬底容器,其中所述第二闩锁臂包含经配置以在所述闩锁机构从所述脱离位置转变到所述接合位置时与所述第一闩锁臂的所述第一或第二滚轮中的一者相互作用的侧臂。
7.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述第二闩锁臂包含经配置以沿定位到所述门的内表面的固定凸台平移的至少一个狭槽。
8.根据权利要求7所述的衬底容器,其中所述凸台包括滚轮。
9.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述第一旋转轮廓与所述第二旋转轮廓异相达10度到30度。
10.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述第一旋转轮廓与所述第二旋转轮廓异相达17度到23度。
11.根据权利要求1所述的衬底容器,其进一步包括安置在所述门内的第二闩锁机构,所述闩锁机构可在脱离位置与接合位置之间操作,所述闩锁机构包括:
可旋转凸轮,其具有与第二旋转轮廓异相的第一旋转轮廓,
第一闩锁臂,其经联接到所述可旋转凸轮,所述第一闩锁臂包含第一闩锁部件,所述第一闩锁部件经配置以在所述闩锁机构处于所述接合位置时接纳在所述门框中的第一对应开口中,
第二闩锁臂,其经联接到所述可旋转凸轮且包含第二闩锁部件,所述第二闩锁部件经配置以在所述闩锁机构处于所述接合位置时接纳在所述门框中的第二对应开口中,
其中当旋转所述凸轮以操作所述闩锁机构使其从所述脱离位置到所述接合位置时,所述第一闩锁部件在所述第二闩锁部件接合提供在所述门框中的所述第二对应开口之前的时间点接合所述门框中的所述第一对应开口。
12.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述衬底容器是前开式衬底容器。
13.根据权利要求1所述的衬底容器,其中所述衬底容器是底开式衬底容器。
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