[发明专利]物体保持装置、曝光装置、平板显示器之制造方法、元件制造方法、以及物体保持方法有效
| 申请号： | 201780060669.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109791369B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩嫚嫚;汤在彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种物体保持装置，其中，保持基板(P)的基板保持具部(70)具有：多个夹具部(74)，分别具备保持基板(P)的保持面、以及设于保持面的背面侧的吸附部分与非吸附部分；底座部(72)，吸附夹具部(74)的吸附部分；定盘部(50)；以及管路部(62)，设于定盘部(50)与底座部(72)之间，具有经由夹具部(74)的非吸附部分使气体通过的管路，夹具部(74)，在使用通过非吸附部分的气体保持基板(P)，且解除吸附部分对底座部(72)的吸附后，从所述底座构件卸除第1构件。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 保持 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 元件 以及 | ||
【主权项】：
1.一种物体保持装置，保持物体，其具有：多个第1构件，分别具备保持所述物体的第1保持面、以及设于所述第1保持面的背面侧的彼此不同位置的第1部分及第2部分；第2构件，具备保持所述第1构件的第2保持面，所述第1部分与所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；底座部；以及管路部，设于所述底座部与所述第2构件之间，具有透过所述第2构件与所述第1构件的所述第1部分连通以使气体通过的管路；所述第1构件，在使用通过所述第1部分的所述气体保持所述物体，且解除所述第2部分对所述第2保持面的固接后，被从所述第2构件卸除。
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