[发明专利]物体保持装置、曝光装置、平板显示器之制造方法、元件制造方法、以及物体保持方法

说明书

一种物体保持装置，其中，保持基板(P)的基板保持具部(70)具有：多个夹具部(74)，分别具备保持基板(P)的保持面、以及设于保持面的背面侧的吸附部分与非吸附部分；底座部(72)，吸附夹具部(74)的吸附部分；定盘部(50)；以及管路部(62)，设于定盘部(50)与底座部(72)之间，具有经由夹具部(74)的非吸附部分使气体通过的管路，夹具部(74)，在使用通过非吸附部分的气体保持基板(P)，且解除吸附部分对底座部(72)的吸附后，从所述底座构件卸除第1构件。

技术领域

本发明，是关于物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、以及物体保持方法，更详言之，是关于保持物体的物体保持装置及方法、具备所述物体保持装置的曝光装置、以及使用所述曝光装置的平板显示器或元件制造方法。

背景技术

以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等的电子元件(微元件)的微影制程中，使用将形成于光罩或标线片(以下总称为「光罩」)的图案，使用能量束转印至玻璃板或晶圆(以下总称为「基板」)的曝光装置。

此种曝光装置中，已知有一种基板载台装置所具有的基板保持具以例如真空吸附来保持基板的基板保持装置(例如参照专利文献1)。

基板保持装置，被要求以高平面度保持基板。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2010/0266961号说明书

发明概要

用于解决壳体的手段

本发明在上述情事下所完成，根据第1态样，提供一种物体保持装置，保持物体，其具有：多个第1构件，分别具备保持所述物体的第1保持面、以及设于所述第1保持面的背面侧的彼此不同位置的第1部分及第2部分；第2构件，具备保持所述第1构件的第2保持面，所述第1部分与所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；底座部；以及管路部，设于所述底座部与所述第2构件之间，具有经由所述第2构件而与所述第1构件的所述第1部分连通并使气体通过的管路；所述第1构件，在使用通过所述第1部分的所述气体保持所述物体，且解除所述第2部分对所述第2保持面的固接后，被从所述第2构件卸除。

根据第2态样，提供一种曝光装置，其具备：本发明的物体保持装置；以及图案形成装置，使用能量束对保持于所述物体保持装置的所述物体形成既定图案。

根据第3态样，提供一种平板显示器的制造方法，其包含：使用本发明的曝光装置使所述基板曝光的动作；以及使曝光后的所述基板显影的动作。

根据第4态样，提供一种元件制造方法，其包含：使用本发明的曝光装置使所述基板曝光的动作；以及使曝光后的所述物体显影的动作。

根据第5态样，提供一种物体保持方法，保持物体，其包含：使用多个第1构件保持所述物体的动作，该多个第1构件，分别具备保持所述物体的第1保持面、以及设于所述第1保持面的背面侧的彼此不同位置的第1部分及第2部分；使用第2构件保持所述第1构件的动作，该第2构件，具备保持所述第1构件的第2保持面，所述第1部分与所述第2部分中的所述第2部分固接于所述第2保持面；以及使用管路部使所述气体通过的动作，该管路部，设于底座部与所述第2构件之间，具有经由所述第2构件而与所述第1构件的所述第1部分连通并使气体通过的管路；使用所述多个第1构件保持所述物体的动作，包含使用通过所述第1部分的所述气体保持所述物体的动作；且包含：解除所述第2部分对所述第2保持面的固接，以从所述第2构件卸除所述第1构件的动作。

附图说明

图1为概略显示一实施形态的液晶曝光装置构成的图。

图2为显示图1的液晶曝光装置所具备的微动载台(省略上面的一部分)的图。

图3为图2的微动载台的分解图。