[发明专利]用于转移石墨烯的系统和方法有效
申请号: | 201780037181.7 | 申请日: | 2017-06-15 |
公开(公告)号: | CN109314099B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | M·乐纳;D·潘;B·戈德史密斯;S·J·阿法希 | 申请(专利权)人: | 卡蒂亚生物公司 |
主分类号: | H01L23/532 | 分类号: | H01L23/532;H01L21/02;H01L29/04 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 张全信;赵蓉民 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开是针对用于从一个衬底的表面到另一衬底的表面转移石墨烯的系统和方法。在一个特定实施例中,在第一衬底的表面上生长石墨烯层,其中随后将所述第一衬底的底部附连到第二衬底的表面。所述第二衬底可以包含由刚性或半刚性组合物制成的材料以对所述第一衬底提供结构支撑和背衬。所述石墨烯层可以随后从所述第一衬底剥离且转移到目标表面,例如电子装置或生物传感器的表面。 | ||
搜索关键词: | 用于 转移 石墨 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种转移石墨烯的方法,其包括:在生长衬底的表面上生长石墨烯层;将所述生长衬底附连到暂时性衬底的表面上;从所述生长衬底剥离所述石墨烯层;以及将所述石墨烯层转移到目标表面上。
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