[发明专利]用于合成氧化锌(ZnO)的方法和/或系统

摘要

简要地描述了用于合成氧化锌的系统和/或方法的实施例，包含腔室外壳、晶片衬底固持器、流体处理系统和用于实施的序列。所述腔室外壳具有类圆柱形形状和大小被设定为收纳和包封所述晶片衬底固持器的腔，加热氧化锌形成生长溶液。

主权项

1.一种设备，其包括：晶片衬底固持器；和流体可密封腔室外壳；所述腔室外壳具有类圆柱形形状和大小被设定为收纳和包封所述晶片衬底固持器的腔；所述腔室外壳用于加热也包封在所述腔室外壳腔内的氧化锌形成生长溶液；所述晶片衬底固持器用于以相对牢固地定位至少一个晶片衬底的方式收纳在所述腔室外壳内，使得所述至少一个晶片衬底的平坦表面大体上互相平行于所述腔室外壳的平坦端部；以及驱动机构，其用于在被包封在所述腔室外壳腔内时以混合所述生长溶液的方式接合所述腔室外壳和/或所述晶片衬底固持器。