[发明专利]用于合成氧化锌(ZnO)的方法和/或系统

权利要求书

1.一种设备，其包括：晶片衬底固持器；流体可密封腔室外壳；和可编程闭合流体处理系统；

所述腔室外壳具有类圆柱形形状和大小被设定为收纳和包封所述晶片衬底固持器的腔；

所述腔室外壳用于加热也包封在所述腔室外壳腔内的氧化锌形成生长溶液；

所述晶片衬底固持器用于以相对牢固地定位至少一个晶片衬底的方式收纳在所述腔室外壳内，使得所述至少一个晶片衬底的平坦表面大体上互相平行于所述腔室外壳的平坦端部；以及

驱动机构，其用于在被包封在所述腔室外壳腔内时以混合所述生长溶液的方式接合所述腔室外壳和/或所述晶片衬底固持器，

其中用于在被包封在所述腔室外壳腔内时以混合所述生长溶液的方式接合所述腔室外壳和/或所述晶片衬底固持器的驱动机构包括用于接合所述腔室外壳和/或所述晶片衬底固持器以便经由所述腔室外壳与所述晶片衬底固持器之间的相对旋转来混合所述生长溶液的驱动机构，

其中所述晶片衬底固持器和/或所述腔室外壳以其中一个相对于另一个围绕大致上垂直于所述至少一个晶片衬底的所述平坦表面并且大致上穿过所述至少一个晶片衬底的中心的旋转轴线旋转的方式旋转，

其中所述晶片衬底固持器和/或所述腔室外壳以一个相对于另一个的方式并且以相对速度旋转，以便在生长合成期间产生相对均匀温度生长溶液并且以便经由因旋转运动造成的动作来持续混合所述生长溶液，且

其中可编程闭合流体处理系统包括具有流体线、流体阀、一或多个工艺参数传感器、一或多个压力容器、一或多个流体泵、一或多个流体源和/或一或多个流体排放口的互连网络，所述互连网络通过连接到至少一个入口并连接到至少一个出口来连接到所述腔室外壳，其中所述可编程闭合流体处理系统经编程以用所述生长溶液完全填充未加压的腔室外壳并且在填充之后加压容纳所述生长溶液的所述腔室外壳。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述晶片衬底固持器包括以下结构：其中所述晶片衬底固持器将被定位在所述腔室外壳内的方式使得在旋转期间，所述生长溶液能够在所述腔室外壳内流动以便接触所述至少一个晶片衬底的所述平坦表面并且在至少一个晶片周围以及对于所述晶片衬底固持器中的多于一个晶片衬底而言在所述晶片衬底之间以与所选工艺参数的相对低温水溶液生长工艺制定一致的方式流动。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述晶片衬底固持器用于经由驱动臂连接器或驱动臂转子来接合所述驱动机构，所述驱动臂连接器或所述驱动臂转子被构建为在驱动操作期间配合所述晶片衬底固持器，使得所述晶片衬底固持器能够在所述腔室外壳保持静止时旋转并且能够脱离接合以便允许所述晶片衬底固持器从所述腔室外壳移除。

4.根据权利要求3所述的设备，其中所述驱动臂连接器或所述驱动臂转子连接到机械驱动电机以使驱动臂旋转。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述晶片衬底固持器和/或所述腔室外壳用于接合包括磁性驱动机构的驱动机构。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述至少一个晶片衬底用于经由用于配合所述至少一个晶片衬底的边缘的几何特征来相对牢固地固持就位在所述晶片衬底固持器中。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述几何特征包括凹槽。

8.根据权利要求6所述的设备，其中所述至少一个晶片衬底包括相对牢固地定位在所述晶片衬底固持器中的两个或两个以上晶片衬底，使得所述两个或两个以上晶片衬底大体上互相平行并且大体上互相平行于所述腔室外壳的所述平坦端部。

9.根据权利要求1所述的设备，其中生长溶液用于经由一或多个所述入口收纳在所述腔室外壳中并且生长溶液用于经由一或多个所述出口从所述腔室外壳排出。

10.根据权利要求1所述的设备，其中抵抗因暴露于生长溶液所致的腐蚀和/或抵抗污染所述生长溶液的材料形成所述腔室外壳和所述晶片衬底固持器。