[实用新型]一种晶圆清洗装置

摘要

本实用新型提供一种晶圆清洗装置，包括：清洗腔室；载物台，设置于所述清洗腔室内；谐振罩，罩设于所述载物台上方，为所述载物台上的待清洗晶圆提供密闭的清洗空间；线圈，设置于所述谐振罩上方的清洗腔室侧壁上；冷却罩，铺设于所述谐振罩的上表面，所述冷却罩包括罩体及设置于所述罩体内部的冷却液。本实用新型的晶圆清洗装置在谐振罩的上方铺设一冷却罩，并通过冷却模块对冷却罩中的冷却液进行温度控制，可大大提高冷却的均匀性及冷却效率。 1

主权项

1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆清洗装置至少包括：

清洗腔室；

载物台，设置于所述清洗腔室内；

谐振罩，罩设于所述载物台上方，为所述载物台上的待清洗晶圆提供密闭的清洗空间；

线圈，设置于所述谐振罩上方的清洗腔室侧壁上；

冷却罩，铺设于所述谐振罩的上表面，所述冷却罩包括罩体及设置于所述罩体内部的冷却液。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述晶圆清洗装置还包括设置于所述载物台下方的腔体保护罩。

3.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述晶圆清洗装置还包括冷却模块，所述冷却模块设置于所述清洗腔室的外部，通过管路与所述冷却罩连接，对所述冷却罩中的冷却液进行循环及温度控制。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述冷却模块的输入端及输出端的管路上均设置有阀门。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述谐振罩的材料为石英。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述谐振罩的形状为半球形。

7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述冷却罩的罩体材料为特氟龙。

8.根据权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述冷却罩的罩体为管状结构，通过从圆心向外盘绕得到圆形冷却罩结构。

9.根据权利要求7所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述冷却罩为袋状结构。

10.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于：所述晶圆清洗装置还包括设置于所述清洗腔室底部、提供反应气体的气体管路。