[实用新型]一种三轴全自动机械手臂机构

摘要

本实用新型涉及一种三轴全自动机械手臂机构，包括左右运动机构、上下运动机构、夹持机构、花篮及载具、Cassette侦测部件，花篮及载具连接在夹持机构上,夹持机构连接在上下运动机构上,上下运动机构连接在左右运动机构上，左右运动机构顶部安装有Cassette侦测部件，Cassette侦测部件用于对花篮及载具的夹取状况及放置位置进行检测，花篮及载具在左右运动机构、上下运动机构、夹持机构的作用下沿左右X轴、上下Y轴、旋转夹取Z轴三个方向运动；本实用新型同现有技术相比，能够避免因空夹或夹取不到位引起的晶舟翻转/过制程/叠货或破片情况，有效的改善了湿制程设备中机械臂的洁净度、安全性、稳定性及可靠性。

主权项

1.一种三轴全自动机械手臂机构，其特征在于：包括左右运动机构(1)、上下运动机构(2)、夹持机构(3)、花篮及载具(4)、Cassette侦测部件(5)，所述花篮及载具(4)连接在夹持机构(3)上,所述夹持机构(3)连接在上下运动机构(2)上,所述上下运动机构(2)连接在左右运动机构(1)上，所述左右运动机构(1)顶部安装有Cassette侦测部件(5)，所述Cassette侦测部件(5)用于对花篮及载具(4)的夹取状况及放置位置进行检测，所述花篮及载具(4)在左右运动机构(1)、上下运动机构(2)、夹持机构(3)的作用下沿左右X轴、上下Y轴、旋转夹取Z轴三个方向运动。