[实用新型]一种具有压篮检测功能的晶硅制绒设备抓手有效
申请号: | 201721193661.6 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN207165541U | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 程强强;霍召军 | 申请(专利权)人: | 库特勒环保科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 翁德亿 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有压篮检测功能的晶硅制绒设备抓手,包括一龙门架,龙门架由顶板、左右侧挡板和前后固定板组成;龙门架的左右两侧分别设有抓手板,抓手板的上部为连接板,连接板上开设有若干个纵向的腰型孔,抓手板的下部设有四根抓手,每根抓手底部的内侧面上均设有爪钩;每个腰型孔中均设有一螺丝,每个螺丝均穿过对应的腰型孔后固定在侧挡板下部的外侧面上;左右两块侧挡板的中部分别开设有传感器安装孔,传感器安装孔内设有压篮传感器。实用新型可以及时有效地感应出抓手抓取晶硅片篮子时出现的压篮情况,能够提醒工作人员及时进行处理,解除压篮问题,避免影响整套晶硅制绒设备的正常运转,大大提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 检测 功能 晶硅制绒 设备 抓手 | ||
【主权项】:
一种具有压篮检测功能的晶硅制绒设备抓手,其特征在于:包括一个龙门架,所述龙门架由一块顶板(1)、左右两块侧挡板(2)和前后两块固定板(3)组成;所述龙门架的左右两侧分别设置有一块抓手板(4),所述抓手板(4)的上部为连接板(41),所述连接板(41)上开设有若干个纵向的腰型孔(42),所述抓手板(4)的下部设置有四根垂直向下的抓手(43),每根所述抓手(43)底部的内侧面上均设置有一个用于勾取晶硅片篮子(8)的爪钩(44);每个腰型孔(42)中均设置有一个螺丝(5),每个所述螺丝(5)的螺帽部均位于所述腰型孔(42)的外侧,每个所述螺丝(5)的螺纹部均穿过对应的所述腰型孔(42)后固定在所述侧挡板(2)下部的外侧面上;左右两块所述侧挡板(2)的中部分别开设有一个传感器安装孔(6),两个所述传感器安装孔(6)内均设置有一个压篮传感器(7);当所述螺丝(5)位于所述腰型孔(42)的顶部时,所述抓手板(4)的上端面高于所述传感器安装孔(6)所在位置的高度,遮住所述传感器安装孔(6);当所述螺丝(5)位于所述腰型孔(42)的底部时,所述抓手板(4)的上端面低于所述传感器安装孔(6)所在位置的高度,露出所述传感器安装孔(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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