[实用新型]一种蓝宝石长晶炉的分级闭环控制冷却设备有效

专利信息
申请号: 201720039346.1 申请日: 2017-01-13
公开(公告)号: CN206562482U 公开(公告)日: 2017-10-17
发明(设计)人: 姚刚;蔺崇召;孙占喜;李吾臣 申请(专利权)人: 许昌天戈硅业科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B17/00
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 代理人: 时国珍
地址: 461700 河*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉的分级闭环控制冷却设备,包括PLC控制器、供水泵和五级冷却组件,长晶炉的炉壁沿炉体轴向等分为五段,所述五级冷却组件分别设于五段炉壁的外侧;每一级冷却组件包括冷却水管、温度传感器和电子流量阀,冷却水管缠绕在炉壁外,冷却水管进水口设有电子流量阀,出水口处设有温度传感器;五级冷却组件的温度传感器信号输出端分别与PLC控制器连接,PLC控制器分别与五级冷却组件的电子流量阀控制端连接;所述供水泵的出水口通过管道分别与五级冷却组件的冷却水管进水口连接,PLC控制器的信号输出端与供水泵控制端连接。本实用新型对炉壁的局部温度、温度控制的精确度和冷水流量的调节范围均具有良好效果。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 长晶炉 分级 闭环控制 冷却 设备
【主权项】:
一种蓝宝石长晶炉的分级闭环控制冷却设备,其特征在于:包括PLC控制器(1)、供水泵(2)和五级冷却组件,长晶炉的炉壁沿炉体轴向等分为五段,所述五级冷却组件分别设于五段炉壁的外侧;每一级冷却组件包括冷却水管(3)、温度传感器(4)和电子流量阀(5),冷却水管(3)缠绕在炉壁外,冷却水管(3)的进水口上设有电子流量阀(5),出水口处设有温度传感器(4);五级冷却组件的温度传感器(4)信号输出端分别与PLC控制器(1)的信号输入端连接,PLC控制器(1)的信号输出端分别与五级冷却组件的电子流量阀(5)控制端连接;所述供水泵(2)的出水口通过管道分别与五级冷却组件的冷却水管(3)进水口连接,PLC控制器(1)的信号输出端与供水泵(2)控制端连接。
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