[发明专利]散热结构及其制备方法和散热装置有效
| 申请号： | 201711437642.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108122870B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 张学骜;李新华;王广;张森;乔帅 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;C01B32/162 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄晓庆 |
| 地址： | 410008 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
一种散热结构及其制备方法和散热装置，该制备方法包括步骤：在基底上依次沉积过渡层和催化剂层，再于保护气体氛围下通入还原性气体和碳源气体于700～800℃保温5～30min，以在催化剂层上垂直生长碳纳米管阵列，得到散热结构；其中过渡层为Al |
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| 搜索关键词： | 散热 结构 及其 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种散热结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在基底上依次沉积过渡层和催化剂层，再于保护气体氛围下通入还原性气体和碳源气体，于700～900℃保温5～30min，以在所述催化剂层上垂直生长碳纳米管阵列，得到所述散热结构；其中所述过渡层为Al2O3层，所述催化剂层为过渡金属的金属单质层或合金层；所述催化剂层的厚度为0.8～10nm；所述还原性气体和所述碳源气体通入的体积流量比为1:1～10。
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