[发明专利]一种原子力显微镜中激励探针振动的方法在审
| 申请号： | 201711249013.2 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN109870593A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 魏艳萍;卢焕明;陈国新;姚聪迪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种原子力显微镜中激励探针振动的方法，在所述探针下方设置压电换能器，该压电换能器在信号源作用下产生竖直方向的机械振动，探针在该机械振动波激励下发生振动。与现有的采用探针驱动器激励悬臂振动，从而带动探针振动的方法相比，本发明中探针针尖更容易挣脱样品表面的粘附力和毛细管力的作用进行稳定的振动，有利于稳定地扫描成像，获得高分辨率的扫描图像，并且降低了对悬臂的高性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 原子力显微镜 压电换能器 激励探针 高性能要求 机械振动波 探针驱动器 高分辨率 机械振动 毛细管力 扫描成像 扫描图像 悬臂振动 样品表面 信号源 中探针 针尖 竖直 悬臂 粘附 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜中激励探针振动的方法，其特征是：在所述探针下方设置压电换能器，该压电换能器在信号源作用下产生竖直方向的机械振动，探针在该机械振动波激励下发生振动。
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- 杨晋玲;何欢;张金英;杨富华 - 中国科学院半导体研究所
- 2015-03-23 - 2017-09-29 - G01Q60/38
- 本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现，即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁，针尖利用低温氧化技术进行锐化，并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微纳加工方法同金刚石薄膜局部淀积技术相结合，实现了探针的高分辨率、高灵敏度和高可靠性，并且降低了成本，适用于大规模生产。
- 一种基于原子力显微镜的多功能组合探针系统-201610214796.X
- 钱林茂;张超杰;江亮;余丙军;邹乙稼 - 西南交通大学
- 2016-04-08 - 2016-08-24 - G01Q60/38
- 本发明公开了一种基于原子力显微镜的多功能组合探针系统。该系统能在各种设定的工作环境中通过程序控制原位切换具有不同功能的探针，从而在同一实验区域原位实现微观摩擦磨损实验、表面形貌扫描、晶体结构演变探测和摩擦能量耗散测量等功能。该系统在原位切换探针时，无需破坏工作环境，有效避免外界环境对样品表面的污染。
- 一种射频原子力显微镜扫描探针-201620157520.8
- 苏丽娜;顾晓峰;秦华 - 江南大学
- 2016-03-01 - 2016-08-03 - G01Q60/38
- 本实用新型公开了一种射频原子力显微镜扫描探针。该探针包括探针躯干(1)、探针悬臂梁(2)、探针针尖(3)和探针躯干上的射频传输线(4)。利用该射频原子力显微镜扫描探针对样品进行形貌扫描时，由于射频电路对电抗(容抗和感抗)极其敏感，样品表面形貌的变化将引起容抗的变化，导致射频谐振信号发生偏移。利用射频电路的高速特性，通过该射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。
- 一种射频原子力显微镜扫描探针及其制备方法-201610116540.5
- 苏丽娜;顾晓峰;秦华 - 江南大学
- 2016-03-01 - 2016-04-27 - G01Q60/38
- 本发明公开了一种射频原子力显微镜扫描探针及其制备方法。制备的主要步骤：第一，在衬底为高阻的绝缘层上硅材料上，通过光刻和刻蚀技术，获得射频传输线的台面隔离；第二，通过光刻、电子束蒸发及快速退火技术，形成欧姆接触；第三，通过光刻及电子束蒸发技术，获得射频传输线；最后，通过光刻和刻蚀技术，形成探针整体，包括探针躯干、探针悬臂梁梁和探针针尖。利用所得的探针对样品进行形貌扫描时，由于射频电路对电抗(容抗和感抗)极其敏感，样品表面形貌的变化将引起容抗的变化，导致射频谐振信号发生偏移。利用射频电路的高速特性，通过该射频谐振信号作为反馈，解决原子力显微镜系统扫描速度较慢的问题，实现高速扫描成像的功能。
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