[发明专利]一种测量晶面作用力原子力显微镜针尖的制备方法在审
| 申请号： | 201811317187.2 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109507454A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 武志刚;王金霞;吕龙昌;李璐璐 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明原子力显微镜针尖技术领域，公开了一种测量晶面作用力原子力显微镜针尖的制备方法，将纳米晶或微晶利用超声分散到无水乙醇中，然后将一滴分散好的液体滴于单晶硅片表面，室温下干燥后将单晶硅片和商品原子力显微镜针尖固定到扫描电子显微镜样品台后置于扫描电子显微镜内，在其表面喷涂Pt保护层，利用聚焦离子束在晶体旁边进行切割，利用聚焦离子束对商品针尖进行切割，利用微探针将新针尖放置到商品针尖的空洞中，最后利用聚焦离子束把微晶表面的Pt保护层去除即可得到最终的针尖，本发明利用聚焦离子束法制备了可以测量各种纳米晶或微晶相互作用的原子力显微镜探针，几乎可以附着任何固体颗粒到针尖，应用范围非常广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 原子力显微镜 聚焦离子束 微晶 扫描电子显微镜 测量 保护层 纳米晶 晶面 制备 切割 原子力显微镜探针 单晶硅片表面 表面喷涂 超声分散 单晶硅片 无水乙醇 微探针 样品台 液体滴 附着 去除 空洞 应用 | ||
【主权项】：
1.一种测量晶面作用力原子力显微镜针尖的制备方法，其特征在于，包括如下：步骤一：将纳米晶或微晶利用超声分散到无水乙醇中，然后将一滴分散好的液体滴于单晶硅片表面，室温下干燥后将单晶硅片和商品原子力显微镜针尖固定到扫描电子显微镜样品台后置于扫描电子显微镜内；步骤二：找到分散良好的单个微晶颗粒后，在其表面喷涂Pt保护层；步骤三：利用聚焦离子束在晶体旁边进行切割，将晶体孤立于切割形成的硅墙；步骤四：将微探针准确的置于硅墙的微晶旁边，喷涂Pt使二者粘合，利用聚焦离子束在晶体旁边进行切割，最终得到适合的尺寸规格；步骤五：利用聚焦离子束对商品针尖进行切割，在针尖得到适宜尺度的方孔；步骤六：利用微探针将第四步得到的新针尖放置到商品针尖的空洞中，喷涂Pt使二者紧密结合，最后利用聚焦离子束把微晶表面的Pt保护层去除即可得到最终的针尖。
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