[发明专利]集成电路装置有效
申请号: | 201711103520.5 | 申请日: | 2015-09-16 |
公开(公告)号: | CN107658288B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 李胜源;张银谷 | 申请(专利权)人: | 威锋电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01L23/528;H01L27/02;H01L27/06;H01L27/07;H01L27/08;H01L29/93;H01L29/94;H01L49/02 |
代理公司: | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 王颖 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种集成电路装置。一种集成电路装置,上述集成电路装置包括一基板;一第一电容,设置于上述基板上;一第一金属图案,耦接至上述第一电容的第一电极;一第二金属图案,耦接至上述第一电容的第二电极;一第三金属图案,设置于上述第一金属图案和上述第二金属图案上方,且覆盖上述第一电容、上述第一金属图案和上述第二金属图案,其中上述第三金属图案为电性接地;一电感,设置于上述第三金属图案上方。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 装置 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路装置,包括:/n基板;/n第一电容,设置于该基板上方;/n第一金属图案,为该第一电容的第一电极;/n第二金属图案,为该第一电容的第二电极;/n第三金属图案,设置于该第一金属图案和该第二金属图案上方,且覆盖该第一电容、该第一金属图案和该第二金属图案,其中该第三金属图案为电性接地;以及/n电感,设置于该第三金属图案正上方,/n其中该第一电容包括:/n第一氧化物层,设置于该第一金属图案、该第二金属图案和该第三金属图案之间。/n
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