[发明专利]探测单元及其制作方法、平板探测器

摘要

一种探测单元及其制作方法、平板探测器。该探测单元包括：衬底基板；位于衬底基板上的第一电极；位于第一电极远离衬底基板一侧的光电二极管；位于光电二极管远离第一电极一侧的透明电极和与透明电极电连接的第二电极，并且，光电二极管在衬底基板上的正投影完全落入第一电极在衬底基板的正投影内，在平行于衬底基板的平面上，透明电极位于光电二极管的中部，且光电二极管未被透明电极覆盖的部分在衬底基板上的正投影与第二电极在衬底基板上的正投影至少部分重叠。该探测单元可有效减小光电二极管的暗态漏电流以提升该探测单元的光电特性。

主权项

1.一种探测单元，包括：衬底基板；位于所述衬底基板上的第一电极；位于所述第一电极远离所述衬底基板一侧的光电二极管；位于所述光电二极管远离所述第一电极一侧的透明电极和与所述透明电极电连接的第二电极，其中，所述光电二极管在所述衬底基板上的正投影完全落入所述第一电极在所述衬底基板的正投影内，在平行于所述衬底基板的平面上，所述透明电极位于所述光电二极管的中部，且所述光电二极管未被所述透明电极覆盖的部分在所述衬底基板上的正投影与所述第二电极在所述衬底基板上的正投影至少部分重叠。