[发明专利]体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710940292.0 | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN107947751B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 林昶贤;韩源;李文喆;李泰京 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 钱海洋;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：膜层，设置在基板上并且形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上，并且包括框架部，所述框架部设置在有效区域的边缘处并且具有比所述上电极的设置在所述有效区域的中央部分中的部分的厚度大的厚度；及频率调节层，设置在所述压电层和所述上电极上。所述频率调节层从所述框架部的倾斜表面被去除，或所述频率调节层的在所述倾斜表面上的部分的厚度小于所述频率调节层的其他部分的厚度。所述频率调节层设置在所述压电层的从所述上电极突出的部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波谐振器，包括：膜层，设置在基板上并且与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上并且位于所述腔上方；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上，并且包括框架部，所述框架部设置在有效区域的边缘处并且具有比所述上电极的设置在所述有效区域的中央部分中的部分的厚度大的厚度；及频率调节层，设置在所述压电层和所述上电极上，其中，所述频率调节层从所述框架部的倾斜表面被去除，或所述频率调节层的在所述倾斜表面上的部分的厚度小于所述频率调节层的其他部分的厚度，其中，所述频率调节层设置在所述压电层的从所述上电极突出的部分上。
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