[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法有效
| 申请号： | 201710867168.6 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN109534277B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王明军;汪新学;闾新明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;H04R7/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风及其形成方法，所述MEMS麦克风包括：基板，基板包括功能区和包围功能区的支撑区，所述功能区基板中具有背腔，所述背腔贯穿所述基板；位于所述功能区基板上的第一电极膜，所述第一电极膜横跨所述背腔；位于所述支撑区基板上的支撑件，所述支撑件包括拐角区，所述拐角区包括第一拐角面和第二拐角面，所述第一拐角面与第二拐角面相交形成拐角；位于所述功能区第一电极膜上的第二电极膜，所述第二电极膜与所述支撑件接触，所述第二电极膜与所述第一电极膜之间具有间隙；位于所述支撑件拐角区表面的保护层。其中，在所述第二电极膜振动的过程中，所述保护层能够保护所述拐角，防止所述拐角开裂，从而能够延长MEMS麦克风的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：基板，所述基板包括功能区和包围所述功能区的支撑区，所述功能区基板中具有背腔，所述背腔贯穿所述基板；位于所述功能区基板上的第一电极膜，所述第一电极膜横跨所述背腔；位于所述支撑区基板上的支撑件，所述支撑件包括拐角区，所述拐角区包括第一拐角面和第二拐角面，所述第一拐角面与第二拐角面相交并形成拐角；位于所述功能区第一电极膜上的第二电极膜，所述第二电极膜与所述支撑件接触，所述第二电极膜与所述第一电极膜之间具有间隙；位于所述支撑件拐角区表面的保护层。
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