[发明专利]一种抗氧化键合铜丝的制备方法及应用

摘要

本发明公开了一种抗氧化键合铜丝的制备方法及应用，该抗氧化键合铜丝的制备方法先将电解铜熔化后得到铜液，随后在惰性气体的保护之下将钼、铋、氮化硼、酚醛树脂添加到铜液中，再经磁力搅拌得到混合铜液。随后将混合铜液经冷却结晶得到键合铜锭，压延后反复拉拔得到直径大小满足要求的键合铜丝，最后在惰性气体保护下在铜丝表面滴加抗腐蚀液，干燥后得到成品。利用该方法制备而成的抗氧化键合铜丝具有良好的抗氧化性能、机械强度及耐腐蚀性能，并且成本较低，能够满足行业的要求，具有良好的应用前景。同时，本发明还公开了该方法所制得的铜丝在集成电路中的应用。

主权项

1.一种抗氧化键合铜丝的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将电解铜置于熔炼炉中，炉温升至1050～1080℃，保温至电解铜完全熔化后得到铜液，随后向铜液中通入保护气体，同时加入占铜液质量6wt％的钼、3.5wt％的铋、1.8wt％的氮化硼、0.5wt％的酚醛树脂，添加完成后立即将炉温升至3150～3180℃，在持续通入保护气体的情况下进行磁力搅拌，得混合铜液；(2)将混合铜液由熔炼炉出口放出，经过导流槽流入结晶凹槽，随后采用冷却水进行冷却，使混合铜液结晶成键合铜锭；(3)将键合铜锭经压延后进行反复拉拔，使所得键合铜丝直径逐步减小，当键合铜丝直径小于0.05mm时，停止拉拔；(4)将所得键合铜丝按照2.5～3.5m/s的速度通入保护气体中，同时以3ml/min的速度向铜丝均匀滴加抗腐蚀液，干燥后得到成品。