[发明专利]一种抗氧化键合铜丝的制备方法及应用

权利要求书

1.一种抗氧化键合铜丝的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将电解铜置于熔炼炉中，炉温升至1050～1080℃，保温至电解铜完全熔化后得到铜液，随后向铜液中通入保护气体，同时加入占铜液质量6wt％的钼、3.5wt％的铋、1.8wt％的氮化硼、0.5wt％的酚醛树脂，添加完成后立即将炉温升至3150～3180℃，在持续通入保护气体的情况下进行磁力搅拌，得混合铜液；

(2)将混合铜液由熔炼炉出口放出，经过导流槽流入结晶凹槽，随后采用冷却水进行冷却，使混合铜液结晶成键合铜锭；

(3)将键合铜锭经压延后进行反复拉拔，使所得键合铜丝直径逐步减小，当键合铜丝直径小于0.05mm时，停止拉拔；

(4)将所得键合铜丝按照2.5～3.5m/s的速度通入保护气体中，同时以3ml/min的速度向铜丝均匀滴加抗腐蚀液，干燥后得到成品。

2.根据权利要求1所述的抗氧化键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)和步骤(4)中，采用保护气体为氮气，气体的流量为175L/h。

3.根据权利要求1所述的抗氧化键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中，磁力搅拌的速度为350r/min，搅拌时间为45min。

4.根据权利要求1所述的抗氧化键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中，抗腐蚀液为聚丙烯酸酯、单宁酸、酒石酸钾钠、硫酸铟以7:4:3:1的重量比混合后制成的水溶液，浓度为0.5％。

5.根据权利要求1所述的抗氧化键合铜丝的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中，干燥操作具体是在真空干燥箱内于70℃干燥12h。

6.权利要求1～5任一项所述的制备方法所制得的铜丝在集成电路中的应用。