[发明专利]一种共阳极整流半桥芯片及其制备方法有效
申请号: | 201710833477.1 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN107425079B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 王成森;王琳;周榕榕;钱清友 | 申请(专利权)人: | 捷捷半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/56;H01L21/329 |
代理公司: | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人: | 郑婷 |
地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种共阳极整流半桥芯片,包括P型区、由原始硅片形成的N型区、设置在N型区内的N+区、设置在芯片上表面的第一钝化膜层,设置在第一钝化层上的第二钝化膜层,芯片上表面通过两层钝化膜层蚀刻有引线孔,所述引线孔表面以及芯片的下表面分别设有金属膜层,所述引线孔表面的金属膜层上还设有多列凸球状电极;所述P型区由对通隔离扩散和背面扩散所形成,并半包围在N型区的外部形成U型结构;并提供制备上述共阳极整流半桥芯片的制备方法,其钝化工艺可靠简单,共阳极整流半桥芯片能适应小电流整流的应用,可直接贴装在铝基板上,免除塑料封装,能有效节约资源。 | ||
搜索关键词: | 一种 阳极 整流 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种共阳极整流半桥芯片,其特征在于:包括P型区、由原始硅片形成的N型区、设置在N型区内的N+区、设置在芯片上表面的第一钝化膜层,设置在第一钝化层上的第二钝化膜层,芯片上表面通过两层钝化膜层蚀刻有引线孔,所述引线孔表面以及芯片的下表面分别设有金属膜层,所述引线孔表面的金属膜层上还设有多列凸球状电极;所述P型区由对通隔离扩散和背面扩散所形成,并半包围在N型区的外部形成U型结构。
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