[发明专利]镀锌板表面缺陷原位分析方法有效
| 申请号： | 201710773405.2 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107607570B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王志奋;周元贵;邓照军;彭周;欧阳珉路;王俊霖;马家艳;张彦文;洪梦庆;韩荣东 | 申请（专利权）人： | 武汉钢铁有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2255;G01N23/2202;G01N23/203;G01N23/2208 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 王和平 |
| 地址： | 430083 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀锌板表面缺陷原位分析方法，属于镀锌板表面质量分析方法技术领域。该方法包括如下步骤：1)镀锌板试样的预处理；2)镀锌板试样表面缺陷区域的原位切割；3)镀锌板试样表面缺陷区域切割截面的显微形貌的观察和分析；该分析方法采用直接在缺陷区域进行原位截面制样，采用聚焦离子束扫描电子显微镜双束系统对镀锌板表面缺陷部位进行纳米尺度精密加工，并结合扫描电子显微镜、电子背散射衍射、能谱仪等分析手段进行实时观察，可分析镀锌板表面缺陷的各种类型和形成原因。 | ||
| 搜索关键词： | 镀锌板 表面 缺陷 原位 分析 方法 | ||
【主权项】：
一种镀锌板表面缺陷原位分析方法，该方法为采用聚焦离子束扫描电子显微镜双束系统对镀锌板表面缺陷部位进行纳米尺度精密加工，并结合扫描电子显微镜进行实时观察，分析镀锌板表面缺陷的类型和形成原因，其特征在于：它包括如下步骤：1)镀锌板试样的预处理；2)镀锌板试样表面缺陷区域的原位切割；3)镀锌板试样表面缺陷区域切割截面的显微形貌的观察和分析；所述步骤2)包括如下步骤：21)调节镀锌板试样表面缺陷区域至电子束和离子束的共聚焦点；22)镀锌板试样表面缺陷区域的气体沉积；23)镀锌板试样表面缺陷区域的粗切和精抛。
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