[发明专利]具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件

摘要

描述具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入组件。一种气体注入系统包括：(a)侧部气体气室；(b)耦接于所述侧部气体气室的多数N个气体入口；(c)从所述气室径向向内延伸的数个侧部气体出口；(d)N通道气体流率控制器，所述N通道气体流率控制器具有分别耦接于所述N个气体入口的N个输出；及(e)M通道气体流率控制器，所述M通道气体流率控制器具有M个输出，所述M个输出的个别一者耦接于所述可调整的气体喷嘴与所述N通道气体流率控制器的气体输入。

主权项

1.一种侧部气体注入喷嘴，用于置于顶部衬垫环的喷嘴囊中，所述侧部气体注入喷嘴包括：圆柱形主体，具有外部喷嘴表面；气体注入通路，在所述圆柱形主体的径向内部端部处形成孔口；轴向延伸的气体传送插件孔，在所述圆柱形主体的径向外部端部附近通过所述圆柱形主体延伸；内部的径向喷嘴气体流动通路，从所述轴向延伸的气体传送插件孔向所述气体注入通路通过所述圆柱形主体延伸；多个O型环喷嘴槽，在所述外部喷嘴表面且与所述圆柱形主体呈同心；以及轴向排空狭孔，包括所述外部喷嘴表面的狭孔部，所述狭孔部从所述圆柱形主体的径向外部端部向所述O型环喷嘴槽延伸。