[发明专利]晶体管显示面板及其制造方法有效
| 申请号： | 201710690882.2 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107731852B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 裵俊和;秋秉权;姜秉薰;曺雨辰;赵玹辰;千俊赫;李智炫 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H10K59/12;H10K71/00;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 周丹;王珍仙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造晶体管显示面板的方法以及晶体管显示面板，所述方法包括在基板上形成多晶硅层；通过图案化所述多晶硅层形成有源层；形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层；通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层；以及形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层，其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料，所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种晶体管显示面板的制造方法，所述方法包括：在基板上形成多晶硅层；通过图案化所述多晶硅层形成有源层；形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层；通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层；以及形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层，其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料，所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
