[发明专利]晶体管显示面板及其制造方法

权利要求书

1.一种晶体管显示面板的制造方法，所述方法包括：

在基板上形成多晶硅层；

通过图案化所述多晶硅层形成有源层；

形成覆盖所述基板和所述有源层的第一绝缘层；

通过使用抛光装置抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层；以及

形成接触所述第一绝缘层和所述有源层的第二绝缘层，

其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括在所述第一绝缘层的表面上涂布第一浆料，所述第一浆料降低所述有源层的抛光速率。

2.如权利要求1所述的晶体管显示面板的制造方法，其中通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括去除所述有源层的突起以使所述有源层变平。

3.如权利要求1所述的晶体管显示面板的制造方法，其中所述第一浆料包括磨料和抛光速率降低剂，所述抛光速率降低剂降低所述有源层的所述抛光速率。

4.如权利要求3所述的晶体管显示面板的制造方法，其中所述第一浆料包括与所述有源层反应的疏水性反应物。

5.如权利要求3所述的晶体管显示面板的制造方法，还包括在所述第一绝缘层的所述表面上涂布所述第一浆料之后，在所述第一绝缘层的所述表面上涂布疏水性反应物，所述疏水性反应物是与所述有源层反应的。

6.如权利要求1所述的晶体管显示面板的制造方法，其中：

所述抛光装置包括：

旋转和抛光物体的抛光部件，以及

测量所述抛光部件的摩擦力变化以控制所述抛光部件的旋转速度的抛光控制器，并且

通过抛光所述第一绝缘层来暴露所述有源层包括：

用所述抛光控制器检测所述抛光部件的旋转速度，以测量所述抛光部件的所述摩擦力变化，以及

用所述抛光控制器在所述摩擦力变化的时间点停止所述抛光部件的旋转。

7.如权利要求1所述的晶体管显示面板的制造方法，还包括在所述第二绝缘层上的与所述有源层重叠的位置处形成栅极，其中所述第一绝缘层的上表面和所述第二绝缘层的上表面平行于所述基板的表面。

8.如权利要求7所述的晶体管显示面板的制造方法，其中，所述有源层自所述基板的所述表面的高度高于所述第一绝缘层自所述基板的所述表面的高度。

9.一种晶体管显示面板，包括：

基板；

在所述基板上的缓冲层；

在所述缓冲层上的有源层，所述有源层包括多晶硅层；

与所述有源层相邻的第一绝缘层；

接触所述有源层和所述第一绝缘层的第二绝缘层；以及

在所述第二绝缘层上与所述有源层重叠的栅极，

其中：

所述第一绝缘层的上表面和所述第二绝缘层的上表面平行于所述基板的表面，并且

所述有源层自所述基板的所述表面的高度高于所述第一绝缘层自所述基板的所述表面的高度，

其中有源层的表面的粗糙度的均方根为1nm至3nm。

10.如权利要求9所述的晶体管显示面板，其中，分开所述第一绝缘层和所述第二绝缘层的分界部分在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间。