[发明专利]物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法有效
| 申请号： | 201710587245.2 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107436540B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 汤在彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2)，其包含：使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作；使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作；使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作；将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作；以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 交换 方法 系统 曝光 装置 平面 显示器 制造 组件 | ||
【主权项】：
一种物体交换方法，是将配置于既定的物体交换位置处的物体交换成其他物体，其包含：使保持有第1物体的物体保持装置位于所述物体交换位置的动作；使所述第1物体悬垂支撑于设在所述物体交换位置的支撑装置的动作；使悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述物体保持装置离开的动作；将第2物体插入悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述物体保持装置之间，而将所述第2物体移交至所述物体保持装置的动作；以及通过在将所述第2物体移交至所述物体保持装置后，使所述第1物体相对于所述支撑装置移动，以将所述第1物体从所述物体交换位置搬出的动作。
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