[发明专利]物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法

说明书

将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2)，其包含：使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作；使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作；使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作；将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作；以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。

本案是申请日为2013年08月07日，国家申请号为201380049087.5，发明名称为“物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明是关于物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法，更具体的，是关于保持于物体保持装置中的物体的交换方法及系统、具备所述物体交换系统的曝光装置、使用所述曝光装置的平面显示器及组件的制造方法。

背景技术

以往，于用以制造液晶显示组件、半导体组件等电子组件的光刻工艺中使用曝光装置，该曝光装置是使用能量束将形成于掩膜(或标线片)上的图案转印至玻璃基板(或晶圆)上。

作为此种曝光装置，已有一种使用既定基板搬送装置将基板载台装置上的曝光完毕的玻璃基板搬出后，通过使用上述基板搬送装置将其他玻璃基板搬入基板载台装置上，依序交换保持于基板载台装置中的玻璃基板，以对多个玻璃基板连续进行曝光处理者(参照例如专利文献1)。

此处，在对多个玻璃基板连续进行曝光时，为了整体产能的提升，最好是迅速地交换基板载台装置上的玻璃基板。

先前技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6,559,928号说明书

发明内容

用以解决课题的手段

本发明是有鉴于上述情事而完成者，从第1观点来看，为一种物体交换方法，是将配置于既定的物体交换位置的物体交换成其他物体，其包含：使保持有第1物体的物体保持装置位于所述物体交换位置的动作；使所述第1物体悬垂支撑于设在所述物体交换位置的支撑装置的动作；使悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述物体保持装置离开的动作；将第2物体插入悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述物体保持装置之间，而将所述第2物体移交至所述物体保持装置的动作；以及通过在将所述第2物体移交至所述物体保持装置后，使所述第1物体相对所述支撑装置移动，以将所述第1物体从所述物体交换位置搬出的动作。

藉此，以第1物体悬垂支撑于支撑装置的状态将第2物体移交至物体保持装置，其后，第1物体从物体交换装置被搬出。亦即，由于第2物体对物体保持装置的搬入较保持于物体保持装置的第1物体的搬出动作的结束还优先进行，因此，能迅速地进行物体保持装置上的物体的交换动作。

本发明从第2观点来看，为一种物体交换系统，是将配置于既定的物体交换位置处的物体交换成其他物体，其具备：物体保持装置，能保持所述物体；支撑装置，设于所述物体交换位置、能悬垂支撑所述物体；驱动系，以保持有所述物体的所述物体保持装置位于所述物体交换位置处且所述物体被悬垂支撑于所述支撑装置中的状态，以及使所述物体从所述物体保持装置离开；以及物体交换装置，通过在所述物体保持装置与所述物体离开的状态下，将其他物体插入该物体保持装置与该物体之间，而将该其他物体移交至所述物体保持装置，且通过在将所述其他物体移交至所述物体保持装置后，使所述物体相对所述支撑装置移动，以将所述物体从所述物体交换位置搬出。