[发明专利]物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法

权利要求书

1.一种物体交换方法，是在物体交换位置交换物体，其包含：

以使位于所述物体交换位置的第1物体保持装置所具有的第1保持面所保持的第1物体从所述第1保持面分离的方式悬垂支撑于位于所述第1物体保持装置的上方的支撑装置的动作；

在悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述第1保持面之间，第2物体保持装置所具有的第2保持面所保持的第2物体被所述第1保持面与所述第2保持面以非接触状态保持，使所述第2物体沿着所述第1保持面与所述第2保持面搬入所述第1保持面的动作；以及

在将所述第2物体搬入所述第1保持面后将所述第1物体从所述支撑装置往所述第2物体保持装置搬出的动作。

2.如权利要求1所述的物体交换方法，其中，所述搬出的动作，是通过使所述第1物体沿着所述第2保持面移动以将所述第1物体从所述支撑装置搬出。

3.如权利要求1所述的物体交换方法，其中，所述第1物体以保持于所述第1物体保持装置的状态其一面对向于该第1物体保持装置；

所述悬垂支撑的动作，是使所述第1物体的另一面以非接触状态悬垂支撑于所述支撑装置。

4.如权利要求3所述的物体交换方法，其中，所述悬垂支撑的动作，是通过使气体高速通过所述支撑装置与所述第1物体之间，以使重力方向往上的力作用于该第1物体。

5.如权利要求1所述的物体交换方法，其中，所述搬入的动作，是沿通过所述第1及第2保持面而形成的搬入用导引面使所述第2物体移动。

6.如权利要求5所述的物体交换方法，其中，所述搬出的动作，是沿通过所述支撑装置与所述第2保持面而形成的搬出用导引面，使所述第1物体移动。

7.如权利要求1至6任一项所述的物体交换方法，其中，所述搬入的动作及所述搬出的动作，是使用共同的驱动装置使所述第1和第2物体移动。

8.如权利要求7所述的物体交换方法，其中，在所述搬出的动作中的所述第1物体的移动路径与在所述搬入的动作中的所述第2物体的移动路径相同。

9.如权利要求6所述的物体交换方法，其中，所述搬入的动作包含使所述搬入用导引面相对水平面倾斜，通过所述第2物体的自重使该第2物体移动的动作；

所述搬出的动作包含使所述搬出用导引面相对水平面倾斜，通过所述第1物体的自重使该第1物体移动的动作。

10.一种物体交换系统，是在物体交换位置交换物体，其具备：

第1物体保持装置，具有能保持第1物体的第1保持面；

第2物体保持装置，在既定方向设于与所述第1物体保持装置不同的位置，具有能保持与所述第1物体不同的第2物体的第2保持面；

支撑装置，配置于位于所述物体交换位置的所述第1保持装置上方，使所述第1保持面上的所述第1物体从所述第1保持面分离并加以悬垂支撑；以及

驱动装置，在支撑于所述支撑装置的所述第1物体与所述第1保持面之间，保持于所述第2保持面的所述第2物体被所述第1保持面与所述第2保持面以非接触状态保持，使所述第2物体沿着所述第1保持面与所述第2保持面搬入所述第1保持面，将悬垂支撑于所述支撑装置的所述第1物体从所述支撑装置往所述第2物体保持装置搬出。

11.如权利要求10所述的物体交换系统，其中，所述驱动装置，是通过使所述第1物体沿着所述第2保持面移动而将所述第1物体从所述支撑装置搬出。

12.如权利要求11所述的物体交换系统，其中，所述第1及第2保持面，是将所述第1物体或所述第2物体以悬浮的状态保持；

所述驱动装置，使悬浮的所述第1物体或所述第2物体移动。