[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 201710524216.1 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109207932A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 长江亦周;高坂佳弘;青山贵昭;远藤光人 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种成膜装置，包括：容器，其内部能容置基板；能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；储藏溶液的储藏机构；能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。本发明提供的成膜装置能够减少或消除基板在成膜过程中形成的液迹。 | ||
| 搜索关键词： | 成膜装置 基板 容器内部 喷嘴 成膜过程 加热机构 排气机构 真空状态 排出 容置 排气 加热 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其特征在于，包括：容器，其内部能容置基板；能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；储藏溶液的储藏机构；能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。
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