[发明专利]成膜装置

说明书

本发明公开一种成膜装置，包括：容器，其内部能容置基板；能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；储藏溶液的储藏机构；能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。本发明提供的成膜装置能够减少或消除基板在成膜过程中形成的液迹。

技术领域

本发明涉及薄膜形成领域，尤其涉及一种成膜装置。

背景技术

已知使用涂布法，浸渍法等湿式法作为在基板的表面上形成薄膜、例如有机膜、无机膜的成膜方法。例如，专利文献1中提出了一种成膜方法，其中，在大气中，在玻璃、塑料等基板的表面上，刻出深10～400nm的刻痕(划痕)，使其具有规定方向的条纹状的精细凹凸面，之后通过涂布按规定组成制作的涂布液(稀释溶液)并使其干燥，从而在所述精细凹凸面上形成规定组成的防污膜(有机膜)。此外，专利文献2中提出了一种成膜方法，其中，将氧化钛粒子混合于水中形成悬浊液，进一步调整为特定的pH后，将该悬浊液涂布在支撑体上并使其干燥，由此形成无机氧化钛膜(无机膜)。

湿式法中所用的涂布液、悬浊液使用的是溶质浓度低的稀溶液。因此，加热干燥后得到的膜的密度低，随之存在形成的膜的功能容易消失的问题。例如，在用湿式法涂布的防污膜中，最表面上形成的膜容易由于擦拭而被刮掉，其防油性有时消失。

与此相对，也考虑使用真空蒸镀法(干式法)在基板上形成薄膜的成膜方法，使用该方法的情况下，成膜时需要形成高真空条件，需要高价的真空排气系统。其结果是难以实现低成本下的成膜。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平9-309745号公报

专利文献2：日本特开平6-35号公报

发明内容

为解决上述问题，中国专利申请“20800002404”提出了一种薄膜的成膜方法和成膜装置，该薄膜的成膜方法和成膜装置将含有2种以上材料的溶液在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上形成薄膜，不仅可以提高薄膜的耐久性，还可以降低制作成本。在该专利申请中，溶液中的成膜材料会在喷嘴作用下排出至基板上形成薄膜，而溶液中的其他材料会在进入容器内时迅速气化，从而与成膜材料分开，不参与形成薄膜，进而形成具有较佳耐久性的薄膜。

但是，在成膜后收取基板时发现基板上会存在如图2所示的液迹100，对形成薄膜的基板形成污染，为清除该液迹100，需要通过人工或机械进行擦除，这不仅提高了制造成本，也降低了生产效率，有时，还会影响成膜质量。

根据该问题，发明人经过多次试验以及分析研究发现，溶液中的其他材料会在进入容器内时迅速气化，这虽然保证了薄膜可以单纯由成膜材料形成，而不会掺入杂质，但是，其他材料在气化过程中会吸收大量的热量，使得气化位置周围的气温较低，导致部分液体在该气温较低位置凝集，最后在容器内形成液滴滴落在基板上形成液迹 100。

考虑到大部分的材料刚进入容器就发生气化，故该气化现象会在喷嘴附近进行，致使喷嘴及其周围的温度较低，从而部分液体会逐渐在喷嘴及附近凝集，最后形成液滴滴落在基板上形成液迹100。

鉴于以上技术问题，本发明有必要提供一种成膜装置，以能够减少或消除基板在成膜过程中形成的液迹。

本发明采用以下技术方案实现上述发明目的：

一种成膜装置，包括：

容器，其内部能容置基板；

能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；

储藏溶液的储藏机构；

能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；

加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。