[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 201710524216.1 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109207932A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 长江亦周;高坂佳弘;青山贵昭;远藤光人 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成膜装置 基板 容器内部 喷嘴 成膜过程 加热机构 排气机构 真空状态 排出 容置 排气 加热 | ||
【权利要求书】：
1.一种成膜装置，其特征在于，包括：
容器，其内部能容置基板；
能将所述容器内部排气至真空状态的排气机构；
储藏溶液的储藏机构；
能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴；
加热机构，其能对所述喷嘴和/或所述容器内部加热。
2.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于，所述加热机构设置于所述容器内。
3.如权利要求2所述成膜装置，其特征在于，所述加热机构靠近所述喷嘴设置。
4.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于，所述加热机构包括电阻丝。
5.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于，还包括温度测量机构，其能够测量所述喷嘴或所述容器内部的温度。
6.如权利要求5所述成膜装置，其特征在于，所述温度测量机构位于所述容器内部且设置于所述喷嘴上。
7.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于，还包括与加热机构连接的温度调节机构，其能够调节所述加热机构所提供的加热温度大小。
8.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于，还包括与加热机构连接的控制器，所述控制器能够在所述喷嘴开始喷液前控制所述加热机构加热至第一设定温度以及在所述喷嘴开始喷液后控制所述加热机构加热至第二设定温度。
9.如权利要求8所述成膜装置，其特征在于，所述第二设定温度高于所述第一设定温度。
10.如权利要求1所述成膜装置，其特征在于，所述加热机构的加热温度为在常温常压下所述溶液中溶剂沸点±100℃。
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