[发明专利]一种高洁净度的芯片除尘箱

摘要

本发明公开了一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体，箱体的前侧敞口并在敞口处设置箱门；还包括气泵；盘式喷头，设置于箱体内；电机，设置于箱体内；转盘，由电机驱动可转动地设置于箱体内；集尘室，设置在箱体两侧的外部；风机，设置于集尘室中；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘的上方面朝转盘设置；箱体与集尘室连通，集尘室具有一出气管。本发明具有的有益效果通过高压气流对芯片进行吹屑，除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。

主权项

一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体（1），所述箱体（1）的前侧敞口（1.1）并在敞口（1.1）处设置箱门；其特征在于：还包括：气泵；盘式喷头，设置于所述箱体（1）内；电机（4），设置于所述箱体（1）内；转盘（3），由所述电机（4）驱动可转动地设置于所述箱体（1）内；集尘室（5），设置在所述箱体（1）两侧的外部；风机，设置于所述集尘室（5）中；所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘（3）的上方面朝所述转盘（3）设置；所述箱体（1）与所述集尘室（5）连通，所述集尘室（5）具有一出气管（6）。