[发明专利]一种高洁净度的芯片除尘箱在审
| 申请号： | 201710395872.6 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107086193A | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张文杰;谢亮;金湘亮 | 申请（专利权）人： | 江苏芯力特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林,韩赛 |
| 地址： | 212415 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 芯片 除尘 | ||
1.一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体（1），所述箱体（1）的前侧敞口（1.1）并在敞口（1.1）处设置箱门；其特征在于：还包括：
气泵；
盘式喷头，设置于所述箱体（1）内；
电机（4），设置于所述箱体（1）内；
转盘（3），由所述电机（4）驱动可转动地设置于所述箱体（1）内；
集尘室（5），设置在所述箱体（1）两侧的外部；
风机，设置于所述集尘室（5）中；
所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘（3）的上方面朝所述转盘（3）设置；所述箱体（1）与所述集尘室（5）连通，所述集尘室（5）具有一出气管（6）。
2.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述盘式喷头具有一个喷头本体（2）和连接所述喷头本体（2）和气泵的高压气管（8）。
3.根据权利要求2所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述喷头本体（2）为正方形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）连通所述高压气管（8）；所述喷头本体（2）的下表面具有若干用于使气流从所述分流腔（2.1）中喷出的气孔（2.2）。
4.根据权利要求2所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述喷头本体（2）为圆形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）连通所述高压气管（8）；所述喷头本体（2）的下表面具有若干用于使气流从所述分流腔（2.1）中喷出的气孔（2.2）。
5.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：还包括：
防逆流挡片（7），转动设置在所述集尘室（5）与所述箱体（1）的连通处；
所述防逆流挡片（7）能够在所述风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。
6.根据权利要求5所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：还包括：
限位块（9），设置在所述集尘室（5）内；
所述防逆流挡片（7）开启角度达到30～45°时碰触所述限位块（9）。
7.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述集尘室（5）中设置有用于将气流引导至所述出气管（6）的导流片（10）。
8.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述集尘室（5）中设置有用于将气流引导至所述出气管（6）的导流网。
9.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述出气管（6）处设置过滤网。
10.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：还包括：
灰尘传感器，设置在所述箱体（1）内用于检测其内部的灰尘浓度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
