[发明专利]一种硅片叠片装置

摘要

本发明公开了一种硅片叠片装置，包括气动夹爪，由气动夹爪控制开合并对称设置的两个接片夹爪，以及对应两个接片夹爪中间位置设置的接近开关；设置在两个接片夹爪下方并与硅片平行的支撑底板，以及垂直设置在支撑底板边缘的硅片挡板；连接在支撑底板底部的升降气缸及转轴；升降机构包括直线模组，支撑底板通过支撑板滑动安装在直线模组的导轨上，并通过直线模组的气缸驱动升降；还包括对射光电开关，对射光电开关位于接片机构的两侧以对应接片机构中最上层硅片高度，并使接片机构中最上层硅片的上表面与接片夹爪之间具有恒定间距H。该发明具有硅片叠片规整且碎片率低的特点，有效保护了硅片的制绒面以避免损伤绒毛。

主权项

一种硅片叠片装置，其对接硅片输送机构以将所述硅片输送机构的输送带上的硅片取走并叠片，其特征在于，包括：取片机构、接片机构及倾斜机构；所述取片机构包括气动夹爪，由所述气动夹爪控制开合并对称设置的两个接片夹爪，以及对应两个所述接片夹爪中间位置设置的接近开关；所述接片机构包括设置在两个所述接片夹爪下方并与硅片平行的支撑底板，以及垂直设置在所述支撑底板边缘的硅片挡板；所述倾斜机构包括连接在所述支撑底板底部的升降气缸及转轴。