[发明专利]一种硅片叠片装置

权利要求书

1.一种硅片叠片装置，其对接硅片输送机构以将所述硅片输送机构的输送带上的硅片取走并叠片，其特征在于，包括：取片机构、接片机构及倾斜机构；

所述取片机构包括气动夹爪，由所述气动夹爪控制开合并对称设置的两个接片夹爪，以及对应两个所述接片夹爪中间位置设置的接近开关；

所述接片机构包括设置在两个所述接片夹爪下方并与硅片平行的支撑底板，以及垂直设置在所述支撑底板边缘的硅片挡板；

所述倾斜机构包括连接在所述支撑底板底部的升降气缸及转轴。

2.根据权利要求1所述的一种硅片叠片装置，其特征在于，还包括升降机构以驱动所述接片机构升降。

3.根据权利要求2所述的一种硅片叠片装置，其特征在于，所述升降机构包括直线模组，所述接片机构通过支撑板滑动安装在所述直线模组的导轨上，并通过所述直线模组的气缸驱动升降。

4.根据权利要求3所述的一种硅片叠片装置，其特征在于，还包括对射光电开关，所述对射光电开关位于所述接片机构的两侧以对应所述接片机构中最上层硅片高度，并使所述接片机构中最上层硅片的上表面与所述接片夹爪之间具有恒定间距H。