[发明专利]电镀装置及电镀方法有效
| 申请号： | 201710240576.9 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107299381B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 向山佳孝;藤方淳平;青山英治 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/02;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;沈静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电镀装置和电镀方法，在将储料器从电镀装置拉出来的期间也能够连续运转。该电镀装置具有：电镀处理部，其对基板进行电镀；以及多个储料器，其构成能够收纳保持件，该保持件构成为保持基板或阳极，多个上述储料器中的至少一个构成为能够向上述电镀装置的内外移动。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电镀装置，其特征在于，具有：电镀处理部，其对基板进行电镀；和多个储料器，其构成为能够收纳保持件，该保持件构成为保持基板或阳极，多个所述储料器各自构成为能够向所述电镀装置的内外移动，在多个所述储料器中的至少一个移动到所述电镀装置之外时，多个所述储料器中的一个以上配置于电镀装置中。
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