[发明专利]电镀装置及电镀方法

权利要求书

1.一种电镀装置，其特征在于，具有：

电镀处理部，其对基板进行电镀；和

多个储料器，其构成为能够收纳保持件，该保持件构成为保持基板或阳极，

多个所述储料器各自构成为能够向所述电镀装置的内外移动，

在多个所述储料器中的至少一个移动到所述电镀装置之外时，多个所述储料器中的一个以上配置于电镀装置中。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有用于将所述储料器向所述电镀装置的外部取出的开口部，

所述储料器在其侧面具有分隔壁，该分隔壁以将所述电镀装置的内部和所述电镀装置的外部分隔开的方式覆盖所述开口部的至少一部分。

3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，

具有背面分隔壁，该背面分隔壁隔着所述储料器配置于所述分隔壁的相反侧，构成为覆盖所述开口部的至少一部分，

所述背面分隔壁构成为，能够与所述储料器一起移动，

所述电镀装置具有使移动到所述开口部的所述背面分隔壁停止的止挡件。

4.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有用于将所述储料器向所述电镀装置的内外进行引导的引导构件。

5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，

所述引导构件具有将所述储料器以能够滑动的方式支承的滑动体。

6.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有用于将配置于所述电镀装置内的所述储料器固定的固定构件。

7.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有对在所述电镀装置内部的规定位置是否存在所述储料器进行检测的储料器传感器。

8.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，

具有对在所述开口部是否存在障碍物进行检测的障碍物传感器。

9.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

所述储料器具有连结部，该连结部构成为，将所述储料器和在所述储料器的移动方向上与该储料器相邻的另一储料器以能够拆装的方式连结。

10.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有将所述储料器以能够滑动的方式支承的支承面。

11.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有：以输送所述保持件的方式构成的输送机；和

控制部，

所述控制部构成为，

选择多个所述储料器中的至少一个，

向所述输送机发出指示，以将所述保持件收纳于所选择的所述储料器。

12.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，

具有：以输送所述保持件的方式构成的输送机；和

控制部，

所述控制部构成为，

接收表示所述保持件产生了异常的信号，

在接收到所述信号时选择收纳产生了所述异常的保持件的储料器，

向所述输送机发出指示，以至少使产生了所述异常的保持件返回至所选择的所述储料器。

13.根据权利要求11或12所述的电镀装置，其特征在于，

所述控制部构成为，对所述电镀处理部和所述输送机进行控制，以使用被收纳于除了所选择的所述储料器以外的储料器中的所述保持件来对所述基板进行电镀。