[发明专利]一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置

摘要

本发明公开了一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，包括工作台面和处理器，所述工作台面左边垂直连接有支撑柱，所述支撑柱的顶部垂直连接有承载横杆，所述承载横杆左端上方固定安装有第一电动液压推杆，所述第一电动液压推杆的右端固定连接有步进电机，所述步进电机通过转动杆连接有转盘，所述转盘上固定连接有第二电动液压推杆，所述第二电动液压推杆上固定设置有微型气泵，所述第二电动液压推杆底部固定安装有抓手腔，所述抓手腔内设置有抓手，且抓手和抓手腔之间通过弹簧弹性连接，所述抓手之间设置有微型气囊，所述微型气囊与微型气泵连通。本发明可对芯片进行平面的移动和翻转，使用第一电动液压推杆进行横向上移动。

主权项

一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，包括工作台面（1）和处理器（15），其特征在于：所述工作台面（1）左边垂直连接有支撑柱（2），所述支撑柱（2）的顶部垂直连接有承载横杆（3），所述承载横杆（3）左端上方固定安装有第一电动液压推杆（4），所述第一电动液压推杆（4）的右端固定连接有步进电机（5），所述步进电机（5）通过转动杆连接有转盘（8），所述转盘（8）上固定连接有第二电动液压推杆（9），所述第二电动液压推杆（9）上固定设置有微型气泵（11），所述第二电动液压推杆（9）底部固定安装有抓手腔（10），所述抓手腔（10）内设置有抓手（12），且抓手（12）和抓手腔（10）之间通过弹簧（14）弹性连接，所述抓手（12）之间设置有微型气囊（13），所述微型气囊（13）与微型气泵（11）连通，所述处理器（15）电性连接有执行器（16），所述第一电动液压推杆（4）、步进电机（5）、第二电动液压推杆（9）和微型气泵（11）均与执行器（16）电性连接。