[发明专利]一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置

权利要求书

1.一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，包括工作台面（1）和处理器（15），其特征在于：所述工作台面（1）左边垂直连接有支撑柱（2），所述支撑柱（2）的顶部垂直连接有承载横杆（3），所述承载横杆（3）左端上方固定安装有第一电动液压推杆（4），所述第一电动液压推杆（4）的右端固定连接有步进电机（5），所述步进电机（5）通过转动杆连接有转盘（8），所述转盘（8）上固定连接有第二电动液压推杆（9），所述第二电动液压推杆（9）上固定设置有微型气泵（11），所述第二电动液压推杆（9）底部固定安装有抓手腔（10），所述抓手腔（10）内设置有抓手（12），且抓手（12）和抓手腔（10）之间通过弹簧（14）弹性连接，所述抓手（12）之间设置有微型气囊（13），所述微型气囊（13）与微型气泵（11）连通，所述处理器（15）电性连接有执行器（16），所述第一电动液压推杆（4）、步进电机（5）、第二电动液压推杆（9）和微型气泵（11）均与执行器（16）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，其特征在于：所述抓手（12）设置有四个，且均匀排布。

3.根据权利要求1所述的一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，其特征在于：所述步进电机（5）下方安装有滑轮（6），所述承载横杆（3）上开设有滑槽（7），所述滑轮（6）与滑槽（7）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，其特征在于：所述转盘（8）设置在承载横杆（3）的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种具有翻转芯片功能的芯片接合装置，其特征在于：所述微型气囊（13）与抓手（12）贴合。