[发明专利]X射线图像传感器及其制作方法、平板探测器

摘要

本发明提供一种X射线图像传感器及其制作方法、平板探测器，X射线图像传感器至少包括：传感器面板；位于传感器面板上的栅极驱动层，栅极驱动层至少包括m条行扫描线以及分别与m条行扫描线垂直的n条第一列读出线，每条第一列读出线均被m条行扫描线隔断为m‑1条读出线段；位于栅极驱动层上的具有多个过孔的栅隔离层；位于栅隔离层上的源漏层，源漏层至少包括与n条第一列读出线的位置一一对应的n条第二列读出线，每条第二列读出线和与其位置对应的第一列读出线的m‑1条读出线段分别通过过孔实现并联连接。本发明通过并联两条列读出线的方式有效降低数据读出线的寄生电阻，RC时间缩短，行扫描时间缩短，从而使得积分电路读取时间减小。

主权项

1.一种X射线图像传感器，其特征在于，所述X射线图像传感器至少包括：传感器面板；位于所述传感器面板上的栅极驱动层，其中，所述栅极驱动层至少包括m条行扫描线以及分别与m条行扫描线垂直的n条第一列读出线，每条第一列读出线均被m条行扫描线隔断为m‑1条读出线段，每条读出线段与任一行扫描线均不连接，m、n均为大于1的自然数；位于所述栅极驱动层上的具有多个过孔的栅隔离层；位于所述栅隔离层上的源漏层，其中，所述源漏层至少包括与n条第一列读出线的位置一一对应的n条第二列读出线，每条第二列读出线和与其位置对应的第一列读出线的m‑1条读出线段分别通过所述过孔实现并联连接。