[发明专利]掩模板及其制作方法有效
| 申请号： | 201710188795.7 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN108666420B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 嵇凤丽;梁逸南 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种掩模板及其制作方法。该掩模板包括掩模基板，掩模基板上包括掩模区，掩模区包括有效区以及围绕有效区的虚设区，在有效区和虚设区内均设置有贯穿掩模基板的多个通孔，其中，设置在虚设区的多个通孔填充遮挡材料。该掩模板对设置在虚设区的通孔填充遮挡材料，一方面可以阻挡蒸镀材料蒸镀到待蒸镀的衬底基板上，另一方面可以促进掩模区达到张力平衡以及改善有效区边缘刻蚀不良的现象，从而避免了采用该掩模板蒸镀形成的有效显示区边缘显示异常的现象，提升了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板，包括：掩模基板，所述掩模基板上包括掩模区，所述掩模区包括有效区以及围绕所述有效区的虚设区，在所述有效区和所述虚设区内均设置有贯穿所述掩模基板的多个通孔，其中，设置在所述虚设区的多个通孔填充遮挡材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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