[发明专利]掩模板及其制作方法

权利要求书

1.一种掩模板，包括：

掩模基板，所述掩模基板上包括掩模区，所述掩模区包括有效区以及围绕所述有效区的虚设区，在所述有效区和所述虚设区内均设置有贯穿所述掩模基板的多个通孔，

其中，设置在所述虚设区的多个通孔填充遮挡材料。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其中，所述遮挡材料包括聚酰亚胺、聚碳酸酯和聚丙烯酸酯的任一种或组合。

3.根据权利要求1所述的掩模板，其中，所述掩模区的整体形状为矩形。

4.根据权利要求1所述的掩模板，其中，所述掩模板包括至少一个所述有效区，且每个所述有效区的形状包括圆形、椭圆形、多边形或扇形。

5.根据权利要求1所述的掩模板，其中，所述有效区完全被所述虚设区包围。

6.根据权利要求1所述的掩模板，其中，设置在所述有效区的多个通孔均匀排布。

7.根据权利要求1所述的掩模板，其中，设置在所述有效区的多个通孔的分布密度与设置在所述虚设区的多个通孔的分布密度相同。

8.根据权利要求7所述的掩模板，其中，设置在所述有效区的多个通孔的每个与设置在所述虚设区的多个通孔的每个沿平行于所述掩模基板截取的横截面的形状及尺寸相同。

9.根据权利要求8所述的掩模板，其中，设置在所述有效区的多个通孔的排布方式与设置在所述虚设区的多个通孔的排布方式相同。

10.根据权利要求1-9任一项所述的掩模板，其中，设置在所述掩模区的所述多个通孔的每个沿平行于所述掩模板截取的横截面的形状为多边形或圆形。

11.一种掩模板的制作方法，包括：

在掩模基板的掩模区内形成贯穿所述掩模基板的多个通孔，所述掩模区包括有效区以及围绕所述有效区的虚设区，在所述有效区和所述虚设区内均设置有所述通孔；

对所述虚设区的多个通孔填充遮挡材料。

12.根据权利要求11所述的掩模板的制作方法，其中，所述遮挡材料包括聚酰亚胺、聚碳酸酯和聚丙烯酸酯的任一种或组合。

13.根据权利要求11所述的掩模板的制作方法，其中，形成的所述掩模区的整体形状为矩形。

14.根据权利要求11所述的掩模板的制作方法，其中，形成的所述掩模板包括至少一个所述有效区，且每个所述有效区的形状包括圆形、椭圆形、多边形或扇形。

15.根据权利要求11所述的掩模板的制作方法，其中，形成的所述有效区完全被所述虚设区包围。

16.根据权利要求11所述的掩模板的制作方法，其中，形成在所述有效区的多个通孔的分布密度与形成在所述虚设区的多个通孔的分布密度相同。

17.根据权利要求16所述的掩模板的制作方法，其中，形成在所述有效区的多个通孔的每个与形成在所述虚设区的多个通孔的每个沿平行于所述掩模基板截取的横截面的形状及尺寸相同。

18.根据权利要求17所述的掩模板的制作方法，其中，形成在所述有效区的多个通孔的排布方式与形成在所述虚设区的多个通孔的排布方式相同。

19.根据权利要求11-18任一项所述的掩模板的制作方法，其中，形成贯穿所述掩模基板的多个通孔包括：

在所述掩模基板上通过湿法刻蚀形成所述多个通孔。