[发明专利]晶圆转向装置

摘要

一种晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一壳体内置空间与一壳体外表面。转向件连接壳体外表面，用以使壳体旋转。晶圆载具承载于壳体内置空间，用以收容至少一晶圆。在转向件使壳体旋转，以翻转收容至少一晶圆的晶圆载具时，晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得晶圆载具和至少一晶圆可以一起从壳体内置空间内被取出。

主权项

1.一种晶圆转向装置，其特征在于，包括：一壳体，包括一壳体内置空间与一壳体外表面；一转向件，连接该壳体外表面，该转向件用以使该壳体旋转；二个晶圆夹持件，和该壳体枢接；以及一晶圆载具，承载于该壳体内置空间，用以收容至少一晶圆；其中在该转向件使该壳体旋转，以翻转收容该至少一晶圆的该晶圆载具时，该晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得该晶圆载具和该至少一晶圆可以一起从该壳体内置空间内被取出；当该二个晶圆夹持件旋转至朝向对方时，该二个晶圆夹持件夹持住该至少一晶圆的侧面。