[发明专利]晶圆转向装置

说明书

一种晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一壳体内置空间与一壳体外表面。转向件连接壳体外表面，用以使壳体旋转。晶圆载具承载于壳体内置空间，用以收容至少一晶圆。在转向件使壳体旋转，以翻转收容至少一晶圆的晶圆载具时，晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得晶圆载具和至少一晶圆可以一起从壳体内置空间内被取出。

技术领域

本发明是关于一种晶圆转向装置，特别是一种将晶圆的摆放方式由平放或直放之间改变，并将晶圆从不同载具之间转换的晶圆转向装置。

背景技术

在半导体工艺中，需要对晶圆进行多种加工工艺。在不同工艺中，用来承载晶圆的载具也会不用，并且晶圆的摆放方式也会不同。当晶圆在不同载具和不同的摆放方式之间转换时，会使用许多装置来让晶圆在二个不同载具之间安全得转换。若是需要将平放在平台或流水线机台上的晶圆300放置在直立摆放式的载具上时，如图1所示，会需要先使用机械臂400抬起平放的晶圆300，再将平放的晶圆300放入晶圆暂存盒500。当晶圆暂存盒500内放满晶圆300之后，如图2所示，可将晶圆暂存盒500旋转，使得晶圆暂存盒500的底部开口510朝向下方，以便顶升机构600沿着移动方向M移动而穿过底部开口510，而将晶圆暂存盒500内的晶圆300举起。接着，如图3所示，将晶圆移载机构700和晶圆暂存盒500对齐后，使用者可以让顶升机构600升高以穿过底部开口510并举起晶圆暂存盒500内的晶圆300，使得晶圆300进入晶圆移载机构700内，以便晶圆移载机构700的夹具710夹住晶圆300。最后，如图4所示，当夹具710夹住晶圆300后，夹具710可以沿着移动方向N移动至载具800的上方，并将直立的晶圆300放置在载具800上，如此一来，即可顺利完成载具之间的转换，并且也顺利得让晶圆300的摆放方式由平放改变为直放。

然而，在上述的转换载具和改变摆放方式的作业流程中，需要用到许多机台来协助移动晶圆和暂放晶圆，因此该些机台会占用较大的空间，并且作业流程时间也较长。因此，在工艺机台空间要求越来越小，工艺时间要求缩短的情况下，上述的作业流程就无法符合使用要求。

因此，有必要提供一种新的机台，其可以将晶圆的摆放方式由平放或直放之间改变，并将晶圆从不同载具之间转换，并且不会占用过多的空间和作业时间。

发明内容

本发明的主要目的是在提供一种晶圆转向装置，其可以将晶圆的摆放方式由平放或直放之间改变，并将晶圆从不同载具之间转换。

为达成上述的目的，本发明的晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一壳体内置空间与一壳体外表面。转向件连接壳体外表面，用以使壳体旋转。晶圆载具承载于壳体内置空间，用以收容至少一晶圆。在转向件使壳体旋转，以翻转收容至少一晶圆的晶圆载具时，晶圆载具的摆放方式会对应得由平放或直放之间改变，使得晶圆载具和至少一晶圆可以一起从壳体内置空间内被取出。

根据本发明的一实施例，其中壳体更包括一底板和三个侧板，底板和三个侧板连接而形成壳体内置空间，当晶圆载具承载于壳体内置空间时，晶圆载具的部分侧面暴露于外。

根据本发明的一实施例，其中当晶圆载具承载或取出于壳体内置空间时，可选择性得沿着两种不同轴向而从壳体内置空间进出。

根据本发明的一实施例，其中壳体更包括一底板和四个侧板，底板和四个侧板连接而形成壳体内置空间，且四个侧板环绕式得连接而形成一开口；其中当晶圆载具承载或取出于壳体内置空间时，晶圆载具将仅经由开口进出。

根据本发明的一实施例，晶圆转向装置更包括一晶圆限位件，晶圆限位件设于壳体内，以防止晶圆从该开口滑出。

根据本发明的一实施例，晶圆转向装置更包括一晶圆夹持件，晶圆夹持件设于壳体内，其中晶圆夹持件与晶圆载具，用以夹持晶圆。