[发明专利]阵列基板及其制造方法和有机发光显示器

摘要

本发明提供了一种阵列基板及其制造方法和有机发光显示器，其中，所述阵列基板的制造方法包括：提供一衬底；在所述衬底上依次形成第一绝缘层、第一金属层、第二绝缘层和第二金属层；在所述第二金属层以及未被所述第二金属层覆盖的第二绝缘层上形成一绝缘膜；去除所述第二金属层的顶面以及部分侧壁上的绝缘膜，以形成第三绝缘层，所述第三绝缘层位于所述第二金属层的两侧并覆盖所述第二绝缘层；以及在所述第二金属层和第三绝缘层上依次形成第四绝缘层和第三金属层。在本发明提供的阵列基板及其制造方法和有机发光显示器中，通过在第二金属层周围增设第三绝缘层，有效降低因金属坡度角大而导致上层金属与下层金属之间短路的风险，提高了产品良率。

主权项

1.一种阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：提供一衬底；在所述衬底上依次形成第一绝缘层、图形化的第一金属层、第二绝缘层和图形化的第二金属层，所述第二绝缘层为整面成膜，所述第二绝缘层在所述第一金属层处形成台阶；在所述第二金属层以及未被所述第二金属层覆盖的第二绝缘层上形成一绝缘膜；去除所述第二金属层的顶面以及部分侧壁上的绝缘膜，以形成第三绝缘层，所述第三绝缘层位于所述第二金属层的两侧并覆盖所述第二绝缘层以及所述第二金属层部分侧壁；以及在所述第二金属层和第三绝缘层上依次形成第四绝缘层和第三金属层。